半导体晶圆分析
MAP300/MAPIR自动wafer分析附件
MAP300和MAPIR一款全自动的半导体wafer分析附件,用于2-12英寸(50-300mm)直径wafer的EPI,BPSG,及碳氧含量分析
垂直式wafer分析附件
垂直式wafer分析附件用于直径2-6英寸wafer的碳氧、BPSG分析,也可用于其它形状样品的全自动测试
MAP300和MAPIR一款全自动的半导体wafer分析附件,用于2-12英寸(50-300mm)直径wafer的EPI,BPSG,及碳氧含量分析
垂直式wafer分析附件用于直径2-6英寸wafer的碳氧、BPSG分析,也可用于其它形状样品的全自动测试