半导体晶圆分析

MAP300/MAPIR自动wafer分析附件

MAP300和MAPIR一款全自动的半导体wafer分析附件，用于2-12英寸(50-300mm)直径wafer的EPI，BPSG，及碳氧含量分析

垂直式wafer分析附件

垂直式wafer分析附件用于直径2-6英寸wafer的碳氧、BPSG分析，也可用于其它形状样品的全自动测试