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半导体晶圆分析
MAP300/MAPIR自动wafer分析附件
MAP300/MAPIR自动wafer分析附件
Map300-1
MAP300和MAPIR一款全自动的半导体wafer分析附件,用于2-12英寸(50-300mm)直径wafer的EPI,BPSG,及碳氧含量分析
SKU:
016-28XX
类别:
PIKE
,
半导体晶圆分析
产品特点
产品特点
产品特点:
完善的软、硬件结合,全自动分析多个测量点
最大支持8和12英寸半导体wafer
兼容2-12英寸直径的wafer
可分析EPI、BPSG、碳氧含量
镜面反射和透射两种模式
可吹扫