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MAP300/MAPIR自动wafer分析附件

MAP300和MAPIR一款全自动的半导体wafer分析附件，用于2-12英寸(50-300mm)直径wafer的EPI，BPSG，及碳氧含量分析

SKU: 016-28XX 类别: ,
产品特点

产品特点：

  • 完善的软、硬件结合，全自动分析多个测量点
  • 最大支持8和12英寸半导体wafer
  • 兼容2-12英寸直径的wafer
  • 可分析EPI、BPSG、碳氧含量
  • 镜面反射和透射两种模式
  • 可吹扫