垂直式wafer分析附件

垂直式wafer分析附件用于直径2-6英寸wafer的碳氧、BPSG分析,也可用于其它形状样品的测试

SKU: 073-26XX 类别: ,
产品特点

产品特点:

  • 透射模式,用于分析半导体wafer的C、O含量和BPSG
  • 支持2-6英寸直径的wafer
  • 支持其它形状的样品